仪器仪表

精密光学产品在半导体应用领域发展分析

发布时间:2022-10-26
在半导体应用领域,精密光学产品主要应用于半导体检测和光刻机中。
广义上的半导体检测设备主要包括工艺检测设备、晶圆检测设备、终测设备。半 导体检测贯穿整个半导体制造过程,可避免制造损失的指数式增长。光学成像系统对 半导体检测效果的高低有关键影响。
光刻机是集成电路制造的关键核心设备。高端光刻机含有上万个零部件,光学器 件是其中的一类关键部件,对光刻机的成像分辨率和套刻精度有重要影响。光学器件 精度需控制在几纳米以内,对误差和稳定性的要求极为苛刻。
根据国际半导体产业协会(SEMI)在2022年7月发布的数据,半导体设备(包括 晶圆制造设备、检测设备和封装设备)的全球总销售额预计将在2022年达到1,175亿美 元,较2021年的1,025亿美元增长14.7%,并预计在2023年增长至1,208亿美元。
对半导体设备需求的增加亦推动了半导体领域工业级精密光学产品需求的增长。 根据弗若斯特沙利文的报告,2019至2021年,全球半导体设备领域工业级精密光学市场从22.3亿元增长至29.9亿元,复合年增长率达15.8%;预计2022至2026年,全球半导 体领域工业级精密光学市场规模将从35.5亿元增长至55.8亿元。

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